化学气相沉积法示意图,化学气相沉积示意图

cn106337170a_等离子体化学气相沉积装置以及成膜方法在审
无机材料工程基础,南昌大学 气相沉积技术_化学气相沉积
一种等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸
(▲化学气相沉积法cvd示意图)
等离子体增强化学气相沉积制备六方氮化硼及其杂化结构的方法技术