化学气相沉积法(cvd)制备nb3sn超导化合物
微波等离子体化学气相沉积—— 一种制备金刚石膜的理想方法
等离子体增强化学气相沉积-pecvd
化学气相沉积利用气相中发生的物理,化学过程,在工件表面形成功能性
金刚石薄膜的化学气相沉积工艺
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