真空腔体
薄膜真空沉积系统
气相沉积法
2.1 物理气相沉积法 包括蒸镀(真空蒸发,电子束蒸镀,溅射等.
设备组成:化学气相沉积系统由管式炉,供气系统,真空机组组合而成.
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