真空沉积法,

锂离子电池材料的连续式真空化学气相沉积设备
为中山大学研制的太阳能电池多腔体高真空薄膜沉积系统
脉冲激光沉积真空系统
真空蒸发镀膜属于物理气相沉积法,是制备薄膜的一般方法.
cn1195884c_用于热喷涂的纳米结构的进料失效