学术干货│寻根究底等离子刻蚀技术
紫外光束 离子刻蚀去除剩余的光刻胶 图1.离子束刻蚀示意图 2
图9 离子束刻蚀产生侧壁再沉积层示意图(a)刻蚀产生
等离子体刻蚀
离子束刻蚀速率影响因素 a.被刻蚀材料种类 b.离子能量 c.
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