各向异性刻蚀,

图3 石墨烯的分形刻蚀图案
硅深度蚀刻集各向异性蚀刻和各向同性蚀刻的优点于一身的博世工艺技术
刻蚀选择比研究 2 ibe刻蚀原理及设备 ibe刻蚀特点 方向性好,各向异性
钒的氧化物各向异性刻蚀的方法与流程
钻蚀(undercut)现象钻蚀 对刻蚀速率的各向异性的定量描述 rl a