极紫外光刻机,极紫外光

极紫外光刻系统构成
asml第一台全新euv极紫外光刻机交付 售价高达1.45亿美元
asml:euv极紫外光刻机——物理极限摩尔定律的新高度
当制程发展到7nm后,必须要用到euv(极紫外线)光刻机,这种光刻机只有
1.2亿美元7纳米极紫外线光刻机,工作时内部科幻一样