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极紫外光刻机
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6亿欧元 asml第一季度售出7台极紫外光刻机
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具体来说,就是 euv (极紫外光源)光刻机.
科普:光刻机是什么?为什么各国那么重视?
目前世界上最顶级的光刻机为euv光刻机,光源采用了极紫外光刻,波长
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