技术及应用现状和发展趋势
化学气相沉积法
物理气相沉积
本技术涉及半导体,尤其涉及一种金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法和
表面防护装饰膜层物理气相沉积技术超硬膜制备技术材料表面制备书籍
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