容栅位移传感器的工作原理
电子身高尺容栅原理
cn201837401u_绝对位置测量容栅位移传感器失效
cn207472145u_一种容栅式数显卷尺有效
背景技术:容栅传感器是一种基于变面积工作原理,可测量大位移的电容式
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