duv步进投影光刻机
高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常
佳能iline步进式光刻机fpa3030i5
(1980年,尼康推出步进式光刻机nsr-1010g)
步进投影光刻机
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