SiC衬底加工,

物理所成功研制6英寸碳化硅单晶衬底
碳化硅衬底 n型碳化硅衬底 双抛导电碳化硅衬底
国产碳化硅衬底厂商天岳先进拟科创板ipo,已完成上市辅导
蓝宝石(al2o3,硅(si,碳化硅(sic)led衬底材料的选用比较.docx
图1 六英寸半绝缘sic单晶sic衬底上生长gan异质结构是新一代微波功率