sic衬底 单晶碳化硅 多晶碳化硅 碳化硅衬底 mocvd衬底
上海4寸半绝缘碳化硅衬底_上海4寸碳化硅衬底_上海6寸碳化硅衬底_豪麦
三代半导体之碳化硅.
关于sic与功率器件,这篇说得最详细
由于高纯半绝缘 sic 衬底需要将背景浅能级杂质控制在 10 16 cm 3
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