氮化镓单晶衬底,

物理所成功研制6英寸碳化硅单晶衬底
13,晶能-硅衬底上氮化镓基垂直结构大功率led的研发及产业化
氮化镓(gan)晶体基片/ga2o3-单晶基片
硅和碳化硅衬底是主要材料,目前已经开始了进入了氮化镓衬底年代
氮化镓单晶衬底制备技术发展与展望