具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源制造技术
朗为科技 考夫曼 离子源 ins dc 可溅射 辅助 刻蚀 预清洗
伯东公司美国考夫曼霍尔离子源应用于离子刻蚀 (ibe)
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考夫曼离子源
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