干法刻蚀,干法刻蚀机

berkley_半导体工艺讲义16--干法刻蚀.pdf 28页
包含扩散掺杂,镀膜(pvd/cvd),光刻,刻蚀(干法刻蚀/湿法刻蚀)等过程
碲镉汞p型接触孔低损伤干法刻蚀技术研究
半导体制造工艺-刻蚀.ppt 47页
全球及中国刻蚀设备行业现状分析干法刻蚀是目前主流刻蚀技术