mim电容结构图,

半导体器件的形成方法,mim电容的形成方法与流程
电容的基本原理及构造
mmic设计系列原创文章(3—gaas phemt工艺简介
mim电容分为单极板mim和双极板个类型,如下 典型单极板mim结构如下
cn102473596b_高击穿电压嵌入式mim电容器结构有效