mems工艺,cass工艺

为什么说mems方案是当下激光雷达车规量产的最优解?
以单个5mm*5mm 尺寸的mems 传感器为例,用硅微加工工艺在一片8 英寸的
柔性mems传感器综述
mems器件封装技术
微元时代全力推进中高精度惯性mems传感器自主国产化