euv光刻机对光学系统的要求极高,譬如镜头光洁度需在50皮米之下.
光刻机的曝光模式
euv光刻机里的低调王者|摩尔|euv|光学|掩模_网易订阅
为阻止中国获得光刻机,西方不惜全面封锁,好在我国早有准备
nanonex光刻机
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