光刻机光学镜头,

33的euv光刻机镜头,并积极研发 下一代0.
asml科普光刻机的关键技术
除了最先进的euv这些光刻机也值得关注
也就是说极紫外光刻机最为核心的镜头与光源,长春光机所已经取得了
阿斯麦新一代光刻机,光学镜片领域,将迎来第二次重大革命!