28nm国产光刻机,国产光刻机

还在研究28nm光刻机?asml已设计出1nmeuv光刻机
上微将交付首台28nm国产光刻机!一文搞懂国内光刻机市场发展现状
传上海微电子将推28nm光刻机使用国产组件摆脱对美国依赖
duv光刻机一致,也就是说它也能完成生产制造28nm-10之间芯片的工作
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