深紫外线光刻机,紫外光刻机

7nm芯片,但早在2018年,台积电机将8台euv光刻机投入到了产线当中
光电所成功研制台式紫外深层光刻机
在深紫外光刻业务(duv)领域,twinscan nxt:1470光刻机每小时曝光300多
曝光分辨率达到22纳米的光刻机,是近紫外的光线,离极紫外还有一点差距
△euv极紫外光刻机 来源:anandtech