深紫外线光刻机,紫外光刻机

目前世界上最顶级的光刻机为euv光刻机,光源采用了极紫外光刻,波长
当制程发展到7nm后,必须要用到euv(极紫外线)光刻机,这种光刻机只有
第4022回:极紫外微影光刻机,阿斯麦半导体蚀刻
具体来说,就是 euv (极紫外光源)光刻机.
紫外光刻机