极紫外光,

5nm波长的极紫外光都有较强的吸收,因此极紫外光刻的掩模是反射式的.
uv固化是指在紫外光的照射下,光引发剂吸收特定波长的光子,激发到激发
进展|高重复频率极紫外相干光脉冲的产生
tsmc展望7nm工艺:450mm晶圆 极紫外光刻
韩国政府将致力于极紫外光刻工艺中关键材料的研发