金刚石半导体材料,半导体材料有哪些

半导体加工用金刚石工具现状
半导体金刚石材料的基本性质与特点
而硅在170℃时就失效,所以金刚石是制作高温电子器件的理想材料
一种晶型金刚石掺氮半导体复合材料及其制备方法
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