离子束刻蚀原理图,离子束刻蚀

第五节_离子束加工.ppt
实验采用英国sts公司的sts multiplex 高密度反应离子刻蚀机,如图3
离子束刻蚀技术ppt
刻蚀的基本原理 干法刻蚀过程示意 离子轰击 掩膜 衬底
2 反应离子刻蚀原理 常见的rie系统如图1所示,硅片直接放在功率电极