离子束刻蚀原理图,离子束刻蚀

离子束刻蚀可用于加工空气轴承的沟槽,打孔,加工极薄材料及超高精度
离子束加工原理
离子束刻蚀速率影响因素 a.被刻蚀材料种类 b.离子能量 c .
工学 先进制造技术6电子束和离子束加工ppt 一,电子束加工的原理 旁
关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展,对刻蚀工艺的精度要求越来越高