电子束刻蚀,电子束光刻

正文 大致步骤是通过高分辨率的电子束光刻技术在选定区生成30nm厚的
使用范围:电子束加工的材料范围广,加工面积可以极小;加工精度可以
大面积曝光的电子束投影曝光示意图
现代加工技术09电子束离子束加工
非导电基底的电子束刻蚀