2)批量生产:以单个 5mm5mm 尺寸的 mems 传感器为例,用硅微加工工艺
高端mems传感器在未来五到十年内将获超额收益
mems传感器介绍
知识常备——mems传感器系统介绍
高性能mems传感器进一步缩减尺寸,开辟移动设备新时代
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