碳化硅单晶锭,

中科院上海硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶
碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统与流程
碳化硅单晶的制造方法和碳化硅基板与流程
物理所成功研制6英寸碳化硅单晶衬底
一种能实现温度场实时调整的sic单晶生长装置及利用该装置生长sic单晶