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将生产高品质大规格碳化硅晶体衬底片□青岛日报/青岛观/青报网记者
4英寸高纯半绝缘碳化硅衬底,图片来源:同光晶体
一种高平整度低损伤大直径单晶碳化硅衬底
【新华网】中科院成功自主研制6英寸碳化硅单晶衬底