目前世界上最顶级的光刻机为euv光刻机,光源采用了极紫外光刻,波长
euv光刻机
euv光刻机——芯片制造的"皇冠"
不用euv光刻机,能不能生产7nm及以下的芯片?
asmlceoeuv光刻机非常复杂全球只有asml能生产
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