压阻效应,空腔效应

单元获取系统的工作状态,控制单元压力 mems: 大多基于硅的压阻效应
(a)压阻效应;(b)电容效应;(c)压电效应 41
1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后,电阻率就要发生变化, 这种效应
2 压阻式传感器ppt 压阻效应 r (1 2 ) r 金属材料
半导体应变片 压阻效应:半导体内部载流子的迁移引起 电阻的变化 应用